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當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域 > chiller高精度換熱溫控單元
簡要描述：Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列產(chǎn)品，可實(shí)現(xiàn)對設(shè)備出口溫度的精準(zhǔn)控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、醫(yī)療和精密實(shí)驗(yàn)室溫控方案。產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、板式換熱器、水箱、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過機(jī)組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。
產(chǎn)品型號：PHE產(chǎn)品產(chǎn)地：更新時間：2025-07-21訪 問 量：333產(chǎn)品分類
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