晶圓高低溫系統(tǒng)

簡要描述：PTXF晶圓高低溫系統(tǒng)的冷卻系統(tǒng)包括油水換熱器、油油換熱器（部分設備）、冷卻水電磁閥、高溫電磁閥等組成。

產(chǎn)品型號：PTXF
產(chǎn)品產(chǎn)地：上海
更新時間：2025-07-21
訪問量：3138

產(chǎn)品分類

設備簡介

PTXF系列高溫循環(huán)器主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。加熱循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。冷卻系統(tǒng)包括油水換熱器、油油換熱器（部分設備）、冷卻水電磁閥、高溫電磁閥等組成。控制系統(tǒng)采用PID控制技術，高清顯示屏，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過機組自身的加熱與冷卻，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

設備特點

全密閉系統(tǒng)：采用全密閉式系統(tǒng)設計，整個循環(huán)管路只有加液蓋上留出的呼吸孔，導熱油不會直接與空氣接觸，延長了導熱油使用壽命同時確保系統(tǒng)運行的穩(wěn)定性，膨脹油箱始終保持在常溫狀態(tài)，高溫時無油霧產(chǎn)生。

高效換熱系統(tǒng)：系統(tǒng)采用管道式加熱冷卻，參與循環(huán)的液體非常少，制冷采用板式換熱器，加熱采用管道式法蘭加熱器，整個系統(tǒng)的容積（板式換熱器容積+管道式加熱器容積+循環(huán)泵內(nèi)容積+循環(huán)管路容積）

控制結(jié)果重復性：基于高級動態(tài)控制系統(tǒng)，同時采用進口鉑電阻溫度傳感器，每次都能實現(xiàn)一致的控制結(jié)果，大大提升產(chǎn)品生產(chǎn)的穩(wěn)定性。

產(chǎn)品外觀：外觀設計吸取國外進口產(chǎn)品的設計理念，采用大口徑石英玻璃液位計，液位計與操作屏放在同一側(cè)，觀察方便，風格簡約時尚，比列協(xié)調(diào)，專有的色彩搭配。

超高溫降溫技術：采用超高溫降溫技術，可以滿足在350℃高溫直接通入冷卻水實現(xiàn)快速降溫。

質(zhì)量保障：所有的關鍵部件均選用進口品牌，確保產(chǎn)品長時間可靠運行。同時所有產(chǎn)品發(fā)貨前均經(jīng)過嚴格測試與檢驗，確保設備到客戶現(xiàn)場不會出現(xiàn)任何問題。

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